纯水、高纯水处理设备/RO 膜设备
处理原理: 原水→预处理→反渗透处理→混床 或者 原水→预处理→反渗透处理→EDI
该工艺可以将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中
不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。
电阻率大于 18MΩ*cm,或接近 18.3MΩ*cm 极限值。
依各种原水水质和用户要求的不同,超纯水的制备工艺
大体可分为预处理、脱盐和精处理三步。
预处理:包括砂滤、多介质过滤、软化、加氯、调节 PH、活
性碳过滤、脱气等。脱盐:包括电渗析、反渗透、离子交换
电渗析脱盐率可达 95%以上。反渗透脱盐可达 98%,并能除
去 99%的细菌颗粒和溶解在水中的有机物。
适用范围:
1、电子行业:半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻
掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等;
2、医药行业:实验室纯水超纯水等。3、电镀行业:纯
水设备、中水回用设备。